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      智能PECVD設備是目前最新型的一款設備，將所有的控制部分集為一體，此款設備是我司于2013年研發成功的，可配備PE射頻電源，將CVD系統升級為PECVD。當參與反應的氣氛進入爐管在射頻電源的作用下產生離子體，可使反應更加充分。同時等離子體起增強的作用，從而很大程度上優化實驗的工藝條件。
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