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      三溫區滑軌式PECVD系統本設備主要針對實驗中試石墨烯生長和制備使用,同時該設備可以用于碳納米管的生長??芍苽涑龈哔|量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領域。
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      雙爐滑軌PECVD該PECVD(等離子化學氣相沉積系統)系統,有多路質量流量計系統(進口流量計),真空機組(進口真空泵),PE射頻電源(進口射頻源),溫控系統等裝置構成。使用PE源將氣源等離子化,有利于降低工藝溫度,同時擴大工藝的使用條件,滿足更多的工藝實驗要求,如石墨烯、碳納米管等,控制操作系統集成于觸摸屏操作面板上,便于操作與觀察。
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      前端預熱滑軌PECVD 安徽貝意克設備技術有限公司成立于2012年,隸屬百思集團,其平行公司有百思新材料研究院有限公司、合肥萊德裝備技術有限公司、天津百諾金科技有限公司、合肥歐萊迪光電技術有限公司、安徽貝意克智能科技有限公司。貝意克公司于2020年在合肥投資5億元新建5萬平米貝意克智能裝備產業園。設有貝意克工程設計中心,貝意克工程技術中心,貝意克聯合實驗室等研發公共服務平臺。
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