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BTF-1200C-RP-PECVD等離子體增強
更新時間:
2021-10-14
型號:
BTF-1200C-RP-PECVD
瀏覽量:
1023
連續進出料等離子體增強:可實現連續可控溫度以及等離子強度等,配備真空系統,可以低壓條件下實現工藝,整個實驗腔體都處于輝光產生區,輝光相對均勻等效,解決了傳統等離子工作不穩定狀態,爐管可360°旋轉,有助于粉料的燒結更均勻,可大角度傾斜,方便進出料,傾斜角度在0-35°之間,所有物料經過的管道都選用非金屬材質,如:進出料腔體選用石英材質,推料桿選用石英及聚四氟材質。
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